2015-05-30
2630
Различают изотермическую и неизотермическую плазму.
• Изотермической плазме отвечает ионизированный газ при высокой температуре, когда энергии (температуры) всех составляющих плазму частиц равны (Te»T1»Tg) и все процессы обмена являются равновесными.
• Неизотермическая плазма характеризуется тем, что средняя энергия (температура) электронов во много раз превышает энергию ионов и нейтральных частиц Te >> T1» Tg, такое состояние реализуется при относительно небольшом выделении джоулевой теплоты за счет высокой теплоемкости газа тяжелых частиц и быстрого уносатеплоты из зоны разряда.
Существование неизотермической плазмы поддерживается за счёт внешних факторов (например - электромагнитного поля), при этом процессы обмена энергией являются неравновесными. Последнее связано с тем, что электроны, как наиболее легкие из заряженных частиц, преимущественно отбирают энергию внешнего поля, однако в силу своей малой массы не способны эффективно перераспределять ее при столкновениях с «тяжелыми» частицами.
|
|
|
Какие виды плазмы Вы знаете в зависимости от степени ионизации?
• Слабоионизированная 10-2-10-3
• Сильноионизированная ≈1%
• Полностью ионизированная 100%
Какие процессы обработки с применением низкотемпературной газовой плазмы Вы знаете?
1. удаление материала с поверхности твердого тела (все виды распыления, травления и очистки),
2. нанесение материала на поверхность твердого тела (химическое из газовой фазы, физическое из материала мишени, физико – химическое из материала мишени, модифицируемого в газовой фазе),
3. модификация поверхностного слоя твердого тела (окисление, анодирование, нитридизация, легирование другими элементами, гетерирование, отжиг, текстурирование).
Назовите характеристики низкотемпературной газовой плазмы.
· плотность плазмы
· температура плазмы
· степень ионизации (Для низкотемпературной плазмы характерна малая степень ионизации (до 1 %))
· степень диссоциации
· квазинейтральность
· плазменная частота
· длина Дебая
· тепловая скорость
