2015-05-30
436
Сущность метода – в реакционный объём непрерывно подают смесь газа-носителя и летучих соединений осаждаемых металлов, которые, достигая нагретой зоны, разлагаются на поверхности заготовки с образованием металла и продуктов реакции. Продукты реакции выводятся из реакционного объёма. Нагрев заготовки осуществляется путём пропускания через неё электрического тока. Процесс ведётся в вакууме. Применяются летучие соединения с галогенами и карбонилами. Для получения многокомпонентных покрытий применяют несколько испарителей. Разложение галогенов и карбонилов происходит при температуре от 400°С (Al) до 1800°С (It). Чем выше температура поцесса, тем больше плотность покрытия.
Пиролитические покрытия обладают столбчатой структурой. Этим методом получают покрытия из Мо, W, Al и It. Перед нанесением покрытия матрицу подвергают длительному отжигу при рабочих температурах.
Недостатки.
1. Трудность получения многокомпонентных покрытий, т.к. галогениды и карбрнилы различных металлов разлагаются при различных температурах.
2. Малый КПД процесса 
0,3%.
3. Неоднородность покрытия по толщине.
4. Избирательность микропереноса частиц.
Данный метод применяют для изготовления катодов и анодов термоэмиссионых преобразователей.
