Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ)

Первый сканирующий электронный микроскоп был построен в 1938г. в Германии, но в пользование был впервые выпущен только в 1965г. При сканирующей электронной микроскопии поверхность образца сканируется тонким электронным лучом (зондом) по квадратному растру, и полученная информация передается на электронно-лучевую трубку (ЭЛТ), покрытую люминифором с длительным послесвечением. Вторая ЭЛТ с малым послесвечением и высокой разрешающей способностью используется для получения фотографий с образца.

Любое явление, которое возникает в результате взаимодействия электронного луча и образца, может быть преобразовано электронным путем в видимое изображение. Первичные электроны, рассеянные поверхностью образца, вторичные электроны, «выбитые» из атомов этого образца, первичные адсорбированные электроны – все они несут информацию об исследуемом образце. Распределение элементов в образце может быть обнаружено при улавливании электронов, подвергшихся обратному рассеянию поверхностными слоями образца, поскольку элементы с большим атомным числом рассеивают больше электронов, чем элементы с меньшим атомным числом.

В сканирующем электронном микроскопе используется более низкое рабочее напряжение, чем в обычных просвечивающих электронных микроскопах. Как правило, такое напряжение равно 1-30 кВ.

Для исследования биологических образцов чаще всего используют излучающий способ сканирования. При этом образец испускает вторичные электроны с низкой энергией, излучаемые поверхностью образца. Используя такой способ сканирования, удается при оптимальных условиях добиться выявления деталей поверхности с разрешением 100Å. Благодаря огромной глубине фокуса сканирующего микроскопа, которая в сотни раз больше, чем у светового микроскопа, получается почти трехмерное изображение исследуемой поверхности.

Методы электронной микроскопии.