Понятие нанотехнологии

Ионное легирование расчет параметров и схема процессов

Ионное легирование - это процесс введения атомов в припо­верхностный слой твердого тела путем бомбардировки его ионами с энергией от нескольких килоэлектронвольт до нескольких мегаэлект­ронвольт.

Способ получения p-n-переходов ионным легированием (или ион­ной имплантацией) обладает рядом существенных преимуществ по сравнению с методом диффузии: сравнительно низкая температура обработки полупроводниковых пластин, точный контроль глубины и профиля распределения примесей, гибкость и универсальность, воз­можность полной автоматизации процесса. Этот метод дает возмож­ность не только существенно повысить эффективность, снизить себес­тоимость и процент брака, но и создать принципиально новые приборы.

При диффузии поверхностная концентрация и профиль распределе­ния примеси определяются температурой процесса, а при ионном леги­ровании эти два параметра можно изменять независимо друг от друга. Профиль зависит от энергии ионов, а концентрация - от дозы облучения.

При высокой энергии ионов глубина их проникновения в твердое тело R = 5E._i^1/2. Для построения профиля концентраций примеси в пла­стине необходимо знать дозу облучения

N⁺ = Q/q = I⁺ t / q

Понятие о нано технологиях примеры реализвции в производстве

К нанотехнологии относят процессы, оперирующие с материала-
ми и устройствами, у которых характерные размеры находятся на
уровне нанометров - миллиардной доли метра (1 нм = 10^-9 м). При-
ставка «нано» происходит от греческого слова «нанос» - карлик.
Поскольку размеры атомов находятся на уровне 1 нм, можно опреде­-
лить нанотехнологию как совокупность методов производства из­
делий с заданной атомарной структурой путем манипулирования ато­
мами и молекулами. (На отрезке длиной в 1нм можно разместить
несколько молекул кислорода). Сегодня нанотехнология,- отрасль
производства, ориентированная на получение веществ и устройств с
заданной атомной структурой - уже достигла реальных результатов
в различных направлениях. Например, уже созданы материалы на
основе углерода, которые значительно прочнее стали, но имеют удель-
ный вес меньше в 6 раз; разработаны стиральные машины с наноча-
стицами серебра, обеззараживающими белье; изготовлены мобиль-
ные телефоны, микропроцессоры с элементами, размер которых око-
ло 35 нм; использование наночастиц в медицине позволяет уничто-
жать раковые клетки и т.д. В производстве микросхем нанотехнолог-
гия успешно развивается в двух направлениях: формирование конфи-
гурации тонкопленочных элементов и травление структур