Отражающая и поглощающая границы

Отражающая граница – это граница, поток примеси через которую равен нулю (SiO₂). В этом случае примесь диффундирует только в одну сторону и поэтому количество примеси в каждой точке должно быть в 2 раза большим, т.е. решение должно записывать в форме:

. (3.30)

Это решение описывает случай, когда примесь диффундирует в полупространство из находящегося на его поверхности однородно легированного слоя толщиной h.

Связывающая граница. Концентрация примеси на такой границе поддерживается равной нулю (например, за счет бесконечно быстрого испарения примеси с поверхности). Если первоначально примесь была однородно распределена по полупространству, то непосредственно на поверхности она станет мгновенно равной нулю и далее вблизи от связывающей границы со временем начнет уменьшаться (рис.3.6).

Решение имеет вид:

(3.31)

Следует отметить, что реально не существует идеально связывающих границ, так как, например, испарение примеси с поверхности идет приблизительно со скоростью, пропорциональной концентрации примеси в бесконечно тонком приповерхностном слое.