Поток массы и проводимость

Если длина свободного пробега молекул в вакуумной системе много меньше ее характерных размеров, то потоки газа при откачке имеют ламинарный (вязкостный) характер. В противном случае говорят о молекулярном характере потоков газа.

Поток газа Q через некоторую поверхность равен объемной скорости течения, умноженной на давление газа P:

. (1)

Размерность потока газа – тор*л/сек.

Проводимость трубопровода, соединяющего две части вакуумной системы, определяется как отношение потока к разности давлений по сторонам трубопровода:

. (2)

Величина, обратная проводимости, называется газовым сопротивлением течению. При параллельном соединении трубопроводов проводимости компонентов складываются:

, (3)

а при последовательном соединении трубопроводов складываются газовые сопротивления компонентов:

. (4)

Проводимость отверстия (по азоту) при молекулярном течении равна:

(5)

где А выражено в см², а проводимость круглого трубопровода диаметром D и длиной L при молекулярном течении равна:

. (6)

Так как в точные уравнения для проводимостей температура и масса молекул входят в виде:

, (7)

то соотношение (7) позволяет легко пересчитать значения проводимости для различных газов и температур.