Области действия вакуумных насосов

Вакуумные насосы подразделяются на низковакуумные, средневакуумные, высоковакуумные и сверхвакуумные.

1) Низковакуумные насосы обеспечивают откачку в диапазоне давлений от 10⁵ до 10² Па. К ним относят некоторые объемные механические насосы (поршневые, водокольцевые, многопластинчатые) и некоторые струйные насосы (водоструйные, газоструйные и пароводяные эжекторы).

2) Средневакуумные насосы работают в диапазоне давлений от 10² до 10^-1 Па. К ним относятся некоторые механические насосы (с масляным уплотнением, двухроторные), пароструйные насосы (пароводяные, парортутные и паромасляные эжекторы).

3) Высоковакуумные насосы работают в диапазоне давлений 10^-1 …10^-5 Па, а сверхвакуумные – ниже10^-5 Па. К ним относятся следующие насосы: пароструйные, диффузионные, турбомолекулярные, сорбционные, сорбционно-ионные, магниторазрядные и криогенные (конденсационные и криосорбционные).