Некоторые сведения о технологии изготовления ИМС, параметрах, маркировке

Как было сказано выше, ИМС могут быть гибридными и полупроводниковыми. Гибридные ИМС образуются следующими конструктивными элементами:

- изоляционное основание (стекло, керамика), на поверхности которого размещены пленочные проводники, контактные площадки, пассивные элементы, изготовленные методом напыления;

- навесные пассивные элементы, которые не могут быть изготовлены в виде пленок (дроссели, большие конденсаторы);

- навесные безкорпусные активные элементы.

Резисторы выполняются в виде пленок из хрома, нихрома, тантала,

нанесенных на изоляционную основу (величина сопротивлений от 0,001 до 10000 Ом). Танталовые резисторы дают высокую точность, нихромовые весьма стабильны, металлокерамические имеют большую величину.

Конденсаторы выполняются в виде пленок из меди, алюминия, серебра, золота, разделенных пленками из материалов с диэлектрическими свойствами (титанат бария, силикат алюминия, двуокись титана и др.)

Проводники выполняют из медных, золотых, алюминиевых пленок с подслоем из никеля, хрома или титана. Медные проводники покрывают сверху пленкой золота или никеля.

Навесные элементы крепят золотыми гибкими проводниками пайкой

или сваркой.

Плотность упаковки и степень интеграции в этих ИМС небольшая

(до 150 элементов на см², 1-я и 2-я степень), однако точность параметров компонентов высокая. При многослойном расположении элементов плотность упаковки может достигать 500 элементов на см².

В полупроводниковых ИМС все элементы и межэлементные соединения выполняются в объеме или на поверхности кристалла полупроводника. Плотность упаковки в них достигает 10⁵ элементов на см², т.е. достигается 6-я степень интеграции.

Резисторы в этих ИМС представляют собой участки легированного полупроводника. Конденсаторы - p - n переходы, запертые обратным напряжением. Диоды и транзисторы - соответствующие структуры p - и n- областей. Изоляционная функция возлагается на пленки окиси кремния. Методами эпитаксии и диффузии формируют соответствующие зоны в кристалле. С внешними выводами ИМС соединяют золотыми и алюминиевыми проводниками. Полупроводниковые ИМС помимо высокой плотности упаковки отличаются высоким быстродействием и малым потреблением мощности.

Характеризующие параметры ИМС определяются их назначением. Так, линейно-импульсные ИМС обладают примерно пропорциональной зависимостью между входными и выходными сигналами. Основными параметрами линейно-импульсных ИМС являются:

- коэффициент усиления по напряжению K_u (может быть до 50000);

- входные и выходные сопротивления R _вх и R _вых (R _вх не менее 0,5 Мом,

R _вых не более 100)м);

- частотный диапазон (до 20 МГц).

Основными параметрами логических ИМС являются входные и выходные напряжения и быстродействие.

Кроме этого, ИМС характеризуются общетехническими параметрами: механическая прочность, рабочий диапазон температур, устойчивость к колебаниям давления, влагостойкость.

По принятой системе обозначений тип ИМС обозначается четырьмя компонентами:

- цифра, показывающая конструктивное исполнение: 1, 5, 7 - полупроводниковые, 2, 4, 6, 8 - гибридные, 3 - прочие (пленочные, керамические ИМС);

- две или три цифры, обозначающие номер разработки (от 0 до 999);

- две буквы, обозначающие функциональное назначение (группа и тип).

По первой букве можно определить группу: Л - логика, Т - триггер, И -

арифметический элемент, Р - устройство памяти, У - усилитель, К –

коммутатор и т.д.

- номер разработки в данной группе (определяет разновидности элементов

одинакового типа)