В плазме электрического разряда под действием электрического поля, приложенного к электродам, протекает ток и выделяется джоулево тепло, причем энергия поля передается большей частью электронам, как самым подвижным частицам. При их столкновениях с атомами, молекулами и ионами небольшая часть энергии передается тяжелым частицам. Если частота столкновений электронов с тяжелыми частицами небольшая (при давлениях заметно меньше атмосферного), то средняя энергия электронов а, следовательно, и соответствующая температура
может быть значительно больше средней энергии и температуры тяжелых частиц
. Например, в плазме тлеющего разряда низкого давления 0.1 мм рт.ст.
, а
. Такая плазма называется термически неравновесной.






