Установка термоионного нанесения «клевер»

Вращение подложкодержателя. Назначение: нанесение омических контактов и металлизации в производстве ППП и ИС, а также других материалов при реактивном испарении в электронной, приборостроительной, оптикомеханической и других отраслях промышленности. Тип источников - электронно-лучевой испаритель, ВЧ - ионизатор. Технические характеристики: Основные параметры источников: а) Электронно-лучевой испаритель 1. Напряжение разряда, 10 кВ; 2. Ток ионного пучка 1 А; б) ВЧ - ионизатор 1. Плотность тока ионов 1-1,5 мА/см; 2. Рабочая частота 27,13 МГц

3. Мощность ВЧ - смещения на подложке 1 кВт;

Основные параметры установки:

1. Режим работы - автоматический, ручная загрузка / выгрузка, управление от ЭВМ;

2. Размер пластины Æ150 мм;

3. Количество одновременно загружаемых пластин 5 шт.;

4. Производительность 10 шт/ч;

5. Неравномерность нанесения ±5 %;

6. Напряжение постоянного смещения на подложке 3 кВ;

7. Средства откачки - криосорбционный насос;

8. Рабочее давление 6×10^-4 Па;

9. Предельное остаточное давление 6×10^-5 Па;

10. Потребляемая мощность 40 кВА;

11. Габаритные размеры 2100 х 1465 х 1860 мм;

12. Масса 2600 кг.

УСТАНОВКА ВЫСОКОЧАСТОТНОГО МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ "КОРУНД².

Вращение подложкодержателя. Назначение: нанесение диэлектрических и металлических пленок в едином вакуумном цикле в производстве ППП и ИС. Тип источников: МАГ - 5 и ВЧ - магнетрон. Технические характеристики. Основные параметры источников: а) МАГ-5 1. Потенциал на мишени 0,6 кВ; 2. Ток ионов на мишень 5 А. б) ВЧ-магнетрон 1. Рабочая частота 13,56 или 27,13 МГц; 2. Максимальная колебательная мощность 2,5 кВт;

Основные параметры установки:

1. Режим работы - автоматический, кроме загрузки/выгрузки, управление от ЭВМ;

2. Размер пластин Æ 150 мм;

3. Количество одновременно загружаемых пластин 5шт.;

4. Производительность 5 шт/ч;

5. Неравномерность нанесения ± 5 %;

6. Температура нагрева пластин 573 К;

7. Напряжение постоянного смещения на подложку 3 кВт;

8. Средства откачки - криосорбционный насос;

9. Рабочее давление 0,6 Па;

10. Предельное остаточное давление 5×10^-5 Па;

11. Потребляемая мощность 30 кВА;