Установка настройки частоты кварцевых

РЕЗОНАТОРОВ "КОРЕНЬ".

       Назначение данной установки состоит в индивидуальной настройке частоты кварцевых резонаторов с диапазоном частот от 5 до 100 МГц методами двухстороннего ионного травления и магнетронного напыления с автоматическим контролем частоты.Тип источников:"Радикал—1" и магнетрон МАГ-0,05.

Технические характеристики:

                               Основные параметры источников:

                   а) "Радикал—1"                                                     б) МАГ-0,05

       1. Средняя энергия ионов 0,5 кэВ;                      1. Потенциал на мишени 400 В;

       2. Ток ионного пучка (5 - 10)×10^-3 А;                                2. Ток ионов на мишень 50 мА.

Основные параметры установки: 1. Режим работы - автоматический, кроме загрузки / выгрузки, управление от ЭВМ; 2. Точность настройки резонатора ± 5×10-6 f ном; 3. Диапазон перестройки - ± 2×10-3 f ном; 4. Количество одновременно загружаемых резонаторов                                                               - 96 шт.; 5. Производительность 100 шт/ч; 6. Средства откачки - турбомолекулярный насос; 7. Рабочее давление 1,3×10-1 Па; 8. Предельное остаточное давление 6×10-3 Па; 9. Потребляемая мощность 10 кВт; 10. Габаритные размеры 2300 х 1150 х 2300 мм; 11. Масса 1000 кг.

УСТАНОВКА НАСТРОЙКИ ЧАСТОТЫ И

ГЕРМЕТИЗАЦИИ РЕЗОНАТОРОВ "КАМЕЯ".

Назначение: проведение операций отжига, индивидуальной настройки частоты кварцевых ПАВ -резонаторов с диапазоном частот от 100 до 300 МГц с автоматическим контролем частоты, обезгаживания и холодной сварки основания и колпачка резонатора в едином вакуумном цикле. Тип источника "Радикал—1".   Технические характеристики:        Основные параметры источника: 1. Средняя энергия ионов 0,5 кэВ; 2. Ток ионного пучка (5 - 10)×10-3 А; Основные параметры установки: 1. Режим работы - автоматический, кроме загрузки / выгрузки, управление от ЭВМ; 2. Точность настройки 5×10-5 f ном; 3. Диапазон перестройки 5×10-4 f ном;

4. Нагрев резонаторов для обезгаживания до 573 К;

5. Усилие сварочного устройства до 117724Н (12Т_с);

6. Количество одновременно загружаемых резонаторов 20 шт.;

7. Производительность 40 шт / смену;

8. Средства откачки - турбомолекулярныи насос;

9. Рабочее давление 6,7×10^-3Па;

10. Предельное остаточное давление 1,3×10^-3 Па;

11. Потребляемая мощность 12 кВт;

12. Габаритные размеры 2250 х 1200 х 1900 мм;

13. Масса 1350 кг.