Установка реактивного ионно - лучевого

ТРАВЛЕНИЯ “КАШТАН”.

Положкодержатель совершает сложное вращательно-колебательное движение. В данной установке осуществляется контроль окончания процесса травления.        Назначение: прецизионное ионно - лучевое травление пленок металлов и их сплавов, диэлектриков и полупроводников пучками ионов инертных и химически активных газов. Тип источника "Радикал-М-200".   Технические характеристики:                    Основные параметры источника: 1. Средняя энергия ионов 0,2 - 0,5 кэВ; 2. Ток ионного пучка 0,3 - 0,6 А.                      Основные параметры установки:

1. Режим работы - автоматический, кроме загрузки/выгрузки; управление от ЭВМ;2. Размер пластин - Æ 150 мм;

3. Количество одновременно загружаемых пластин - 1 шт.

4. Производительность - 3 шт/ч;

5. Неравномерность обработки - + (3-5) %;

6. Средства откачки - диффузионный насос;

7. Рабочее давление 7×10^-2 - 4×10^-1 Па;

8. Предельное остаточное давление 3×10^-3  Па;

9. Потребляемая мощность - 12 кВА;

10. Габаритные размеры 1850 х 1500 х 1805, мм;

11. Масса 950 кг.