2018-02-14
279
Планетарное вращение деталей. Назначение: послойная металлизация керамических деталей, включая нанесение покрытий на плоские, цилиндрические поверхности и внутренние отверстия. Типы источников: два дуговых испарителя ИД-200-1, ИДН-200 и "Радикал".
| Технические характеристики: Основные параметры источников: а) Дуговые испарители ИД-200-1 и ИДН-200 1. Максимальный ток дуги: ИД-200-1 ‑ 450 А и ИДН-200 ‑ 200 А; 2. Максимальная электрическая мощность: ИД-200-1 - 9 кВт, а ИДН-200 - 6 кВт; б) "Радикал" 1. Средняя энергия ионов 0,8 - 1,0 кэВ; 2. Ток ионного пучка 0,3 А. Основные параметры установки |
1. Режим работы - автоматический, кроме загрузки / выгрузки, управление от программатора;
2. Обрабатываемые изделия - керамические детали (размер Æ 30 х 3 мм);
3. Количество одновременно загружаемых изделий 1000 шт.;
4. Производительность 400 шт/ч;
5. Средства откачки - диффузионный насос;
6. Рабочее давление 1,3×10-3 Па;
7. Предельное остаточное давление 6,65×10-4 Па;
|
|
|
8. Потребляемая мощность 30 кВА;
9. Габаритные размеры 2400 х 1580 х 1860 мм;
10. Масса - 1500 кг.
УСТАНОВКА ВАКУУМНОГО ПЛАЗМЕННО - ДУГОВОГО
НАНЕСЕНИЯ "ЭЛЕВАТОР".
| Вертикальное перемещение кассет с образцами. Назначение: двустороннее локальное нанесение алюминия на выводные рамки ИС. Тип источника: два дуговых испарителя и два "Радикала". Технические характеристики: Основные параметры источников: а) Дуговой испаритель 1. Максимальный ток дуги 500 А; 2. Максимальная электрическая мощность 30 кВт; б) "Радикал" 1. Средняя энергия ионов 0,8-1 кэВ; 2. Ток ионного пучка 0,3 А; Основные параметры установки: 1. Режим работы - ручной; автоматическая откачка; 2. Обрабатываемые изделия - выводные рамки ИС (размер 250 х 250 мм); 3. Количество одновременно загружаемых изделий - 250 отрезков; 4. Производительность 125 шт/ч; |
5. Средства откачки - диффузионный насос;
6. Рабочее давление 3×10 -3 Па;
7. Предельное остаточное давление 6×10-4 Па;
8. Потребляемая мощность 60 кВА;
9. Габариты 2300х3500х2600 мм;
10. Масса 4000 кг.
