Урок
Травление. Очистка в H2O
Травление - это процесс окисления поверхности пластин и перевод образовавшегося окисла в растворимую соль.
Травление проводится после обезжиривания, т.к. только в этом случае травитель хорошо смачивает всю поверхность пластин, и верхний слой (например, нарушенный) удаляется равномерно.
Процесс травления можно разбить на пять стадий:
1. диффузия травителя к обрабатываемой поверхности;
2. адсорбция травителя поверхностью;
3. химическое взаимодействие травителя с обрабатываемым материалом;
4. десорбция продуктов химических реакций;
5. диффузия продуктов химических реакций от поверхности.
Скорость травления ограничивается либо диффузией травителя к поверхности или продуктов реакции от поверхности, либо скоростями поверхностных химических реакций.
Травители, в которых самыми медленными этапами являются диффузионные, называются полирующими. Такие травители нечувствительны к неоднородностям поверхности, они сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф.
Травители, в которых самыми медленными являются поверхностные химические реакции, называются селективными. Селективные травители с большой разницей скоростей травления в различных направлениях принято называть анизотропными.
В зависимости от целей травления применяют те или иные травители. Так, для подготовки пластин кремния к изготовлению микросхем применяют полирующие травители. В процессе изготовления ИМС с помощью анизотропных травителей в кремнии вытравливают углубления. Для выявления поверхностных дефектов применяют селективные травители.
В качестве травителей используют кислоты и щелочи.
Очистка в Н2О.
После выполнения операций обезжиривания и травления пластины промывают деионизованной водой.
Отмывку в воде выполняют:
1. в протоке воды в многокаскадных ваннах;
2. в ультразвуковых ваннах;
3. струей;
4. гидромеханическим способом.
Вода подается через форсунки под давлением на
вращающиеся пластины, расположенные на диске
центрифуги. Частота вращения центрифуги- 200 - 600 об./ мин.
Идет непрерывная смена воды. Процесс интенсифицируется за
счет гидромеханического воздействия струи на поверхность
и за счет возникающих из-за вращения центробежных сил.