Общие сведения об эпитаксии. Гидромеханическая отмывка

Урок

Гидромеханическая отмывка

Кроме струи на подложки воздействуют беличьи кисти

или капроновые (нейлоновые) щетки, которые, совершая

сложные вращательные движения, увеличивают

смачиваемость поверхности и механически сбивают

загрязнения. Пластины крепятся вакуумным способом.

Тема: Эпитаксия.

Эпитаксия - это процесс наращивания на поверхности подложки слоя вещества, который повторяет структуру подложки и называется эпитаксиальным слоем.

Автоэпитаксия - это процесс наращивания эпитаксиального слоя, повторяющего структуру и химический состав подложки (Si на Si; Ge на Ge).

Эпитаксиальный слой