2014-02-09
791
Номинальная толщина дорожки металлизации в месте отсутствия контакта (рис. 10.4) определяется из минимально возможного размера на фотошаблоне, он равен N. С учетом неточности изготовления окна ФШ, фотолитографии и бокового подтравливания реальный размер дорожки металлизации:
мкм
Минимальный размер:
мкм.
|
| Рис. 10.4. Металлизация |
Обычно здесь получается размер слишком маленьким, тогда приходится делать дорожку шире N и надо проверять, достаточна ли толщина шины, исходя из плотности тока.
Найдём перекрытие контактного окна металлизацией:
Ширина дорожки металлизации в месте контакта на структуре с учётом процессов фотолитографии и ошибки совмещения будет равно:
мкм, 
мкм.
При формировании металлизации всегда имеет место боковое подтравливание, вследствие которого ширина слоя металла становить меньше примерно на его толщину. Поэтому ширина контактного окна на фотошаблоне будет равна:
мкм.
