Расчет расстояния между базой и глубоким коллектором

Расчет аналогичен предыдущему пункту. В данном случае учитывается ОПЗ перехода база – эпитаксиальный слой.

Минимальный размер:

мкм,

Номинальный размер:

=2,0 мкм – глубокий коллектор.

Размер на фотошаблоне:

Расчет расстояния между глубоким коллектором и разделительной областью

Расчет аналогичен. В данном случае учитывается ОПЗ перехода РО – эпитаксиальный слой.

Минимальный размер:

мкм,

Номинальный размер:

Размер на фотошаблоне: