2015-01-30
689
а) Подсчитайте время, которое потребуется для создания на кремниевой пластине оксидного слоя толщиной 200 нм при оксидировании в атмосфере водяного пара при температуре 900 °С. Константы оксидирования: 
мкм; 
мкм2/ч. Начальное время оксидирования 
= 0.
б) На кремниевой пластине, рассмотренной в п. а), вытравлено окно для диффузии бора. Затем пластина на 1,5 ч помещена в атмосферу сухого кислорода при температуре 1200°С. Определите толщину оксидного слоя на окне, если хi = 20 нм, а также толщину слоя на поверхности исходной пластины, если хi = 200 нм. Известно, что при температуре 1200°С константы оксидирования: 
мкм; 
мкм2/ч.
Решение:
а) 
t = 48,6 мин.
б) Находим толщину оксидного слоя на окне с начальной толщиной xi = 20 нм:
Находим толщину слоя оксида на исходной пленке при xi = 200 нм:
x ок = 312 нм.
