Система газораспределения эпитаксиальной установки

Система газораспределения эпитаксиальной установки предназначена для подготовки и подачи в реактор ПГС, водорода и других газов, необходимых для проведения как основных, так и вспомогательных операций. В газовых каналах установлены: ручные запорные краны Кр, вентили В, фильтры Ф, обратные клапаны ОК, регуляторы давления РД, понижающие давление газа от 100…250 до 5…40 кПа, ротаметры Р для контроля расхода газов, дозаторы испарительного типа И, клапаны К с электромагнитным управлением, скруббер С, дроссель Др, реакторы I и II. На вход газовой системы подаются 6 технологических газов, распределяемых на 9 технологических каналов. Каналы 1…3 подают чистый водород (точка росы 203 К (-70С)) и его смеси с парами тетрахлорида кремния (И1) и легирующей примеси (И2). Каналы 4, 5 – соответственно обезвоженный хлористый водород для травления подложек и углекислый газ для нанесения диоксида кремния. Каналы 6,7 подают азот для продувки реакторов и проверки их на герметичность, канал 8 – водород (точка росы 233 К (-40С)) для продувки реакторов, канал 9 подает технический водород марки А (ГОСТ 3022-70) в свечу скруббера.

Каналы 1…5 являются основными, формирующими ПГС, а каналы 6…9 – вспомогательными. Основные каналы включают ротаметры Р1-Р5 и клапаны К1…К5, К9…К13, а также К2` и К3` и обеспечивают проведение основных операций технологического цикла в автоматизированном режиме. Клапаны К1…К5 объединены общим коллектором, в котором формируется ПГС, подаваемая затем по каналу 10 в реакторы. Для настройки каждого основного канала на заданный расход реагента параллельно основным клапанам установлены клапан К9…К13, объединенные клапаном 11 для отвода реагентов в скруббер С. Для уменьшения длины трубопроводов и упрощения монтажа и обслуживания газовой системы клапаны К1…К5, К9…К13 объединены в блок клапанов У2, выполняющий функцию подготовки ПГС. Готовая ПГС поступает в другой блок клапанов У3, в котором она распределяется по реакторам I и II. Последовательное подключение каждого из реакторов производится клапанами КI и КII. Клапаны К6 и К14, установленные в линии продувки азотом, являются нормально открытыми, т.е. открытыми при отсутствии напряжения на их электромагнитах. При аварийном отключении питания установки эти клапаны обеспечивают продувку реакторов, заполненных ПГС.