2015-01-21
1303
а – конструкция с обмазкой; б – конструкция без обмазки; в – ввод термопары в зону нагревателя
Внутренний диаметр рабочей зоны составляет от 120 мм (установка СДО-125/3-12) до 150 мм (СДО-125/3-15, АДС-6-100), что позволяет обрабатывать подложки диаметром 75…100 мм. Кварцевая реакционная труба 5 устанавливается внутри керамической трубы – муфеля 4, разогреваемой резистивным нагревателем 3. Нагреватель может быть армирован тонким слоем керамической обмазки на основе алунда (рисунок а) или не иметь обмазки (рисунок б). Нагреватели выполняют в виде спирали 9 из проволоки диаметром 5,5 мм, из жаростойкого сплава ОХ27Ю5А, соединенной токовводами 7 с блоком питания. Диаметр намотки спирали определяется диаметром реакционной кварцевой трубы 5, шаг спирали задается установкой керамических изоляторов 8. В нескольких изоляторах выполняются отверстия для размещения термопар 10, выступающие концы изоляторов используются в качестве опор керамической трубы-муфеля 4 (рисунок в). Нагревательные элементы оборачиваются керамическим (каолиновым) волокном. Температура на поверхности камеры не должна превышать 35С. Система управления диффузионными процессами должна обеспечивать равномерное распределение температуры в реакторе с высокой точностью ± 0,25С. Используется трехканальная система регулирования температуры.
