1 – термопара, 2 – кожух, 3 – алюминиевая крышка, 4 – керамическое волокно, 5 – токоподводы, 6 – внутренняя и наружные спирали, 7 – керамические изоляторы
Нагревательный элемент представляет собой две соосно расположенные спирали 6 из материала высокого удельного сопротивления, соединенные между собой параллельно, но разделенные токоподводами 5 и системой питания на три самостоятельные секции. Снаружи нагревательный элемент теплоизолирован прессованным керамическим волокном 4 и закрыт алюминиевым кожухом 2, на котором по краям и в центре расположены коробки для крепления регулирующих и контрольных термопар 1 соответственно с градуировкой ПР30/6 и ПП1.
Охлаждаются нагревательные камеры воздушным потоком, направляемым металлическими экранами. Внутри каждой нагревательной камеры расположена служащая тепловым демпфером корундовая труба, уплотненная на выходе теплоизолирующими кольцами. В качестве рабочего канала (реактора или диффузионной трубы) используется труба, которая помещается внутри корундовой или непосредственно проходит сквозь нагревательную камеру и уплотняется на выходе.
Теплообменник заключен в сварной металлический короб и представляет собой радиатор, охлаждаемый проточной водой и обдуваемый воздухом от шести осевых вентиляторов. На входе воды в радиатор установлено гидравлическое реле (реле давления), сигнализирующее о прекращении её подачи; управляют работой теплообменника с пульта.
1 – пульт программного управления,
2 – блок газораспределения,
3 – панель управления,
4 – диффузионная электропечь,
5 – нагнетатель воздуха,
6 – блок пылезащиты,
7 – загрузчик,
8 – роторное устройство,
9 – блок управления загрузкой.
Установка термической диффузии АДС-6-100