Камеры загрузки-выгрузки с ламинарным потоком воздуха термической диффузионной установки

а – горизонтальным, б, в – вертикальным сверху вниз и снизу вверх;

1 – рабочий канал (реактор), 2 – лампы освещения, 3 – фильтр, 4 – воздухозаборная решетка,

5 – вентилятор, 6 – шторка из оргстекла, 7 – патрубок для удаления воздуха

Камера загрузки-выгрузки, как уже отмечалось, являясь дополнительным оборудованием, изготовляемым по специальному заказу применительно к конкретному типу термической установки, предназначена для создания обеспыленной атмосферы при проведении термических процессов. На рисунке выше а-в показаны три схемы камер загрузки-выгрузки с горизонтальным и вертикальным и сверху вниз и снизу вверх ламинарным потоком воздуха для двухканальных диффузионных электропечей. Такие камеры могут быть изготовлены для термических установок с другим количеством каналов. В приборном основании расположены элементы систем управления и регулирования (регулятор РЕПИД-1М), автоматический выключатель, магнитный пускатель и плавкие вставки, каретка симмисторов (симметричных тиристоров), вентилятор для охлаждения устройства коммутации, силовые трансформаторы. Приборы управления и терморегулирования для защиты от нагрева сверху закрыты крышкой с теплоизоляцией. Для обслуживания приборов в задней части шкафов приборного основания имеются съемные крышки. Пусковое программное устройство выполнено в виде выдвижного шасси, на передней панели которого размещены органы управления (сигнальные лампы, кнопочные переключатели, вольтметры), а внутри – реле времени, потенциометры, задатчики с цифровыми счетчиками, предохранитель, коммутационное реле, счетчики времени выработки и элементы коммутации.