Кварцевый кристаллический резонатор

Предназначены

1) для контроля потока осаждаемых частиц

2) измерения массы осаждаемого вещества

3) характерных параметров плёнок

Существуют два метода измерения плотности потока испаряемого вещества:

1) основан на ионизации молекул пара электронами и регистрации ионного тока.

2) основан на измерении динамической силы, с которой сталкивающиеся с поверхностью молекулы воздействуют на неё.

обоими методами измеряется скорость осаждения в данный момент времени. 1,7-держатели

2 - электрод

3 - пружина

4 - трубки для охлаждения датчика 5-экран

6-пластина с плёнкой Аи или Ag квадрат

m - масса кварцевого кристалла

f - резонансная частота кварца

F - площадь кристалла

р - плотность осаждаемой плёнки

∆f- сдвиг резонансной частоты

Для измерений нужен генератор и частотомер

Оптически датчики - для контроля за напылением диэлектрических плёнок

Вопросы по разделу - Вакуумное оборудование

1) Расскажите об общих сведениях о вакууме, чем определяется вакуум?

2) Схема вакуумной системы. Основные характеристики вакуумных насосов.