Газоанализаторы. Масс-спектрометры

Принцип действия почти всех наиболее применяемых высоковакуумных масс-спектрометров основано на ионизации анализируемого газа. Предназначен для измерения парциальных давлений газов. При этом образовавшиеся положительные ионы разделяются по характерному для каждого из них отношению массы к его заряду. После разделения ионы поступают на коллектор масс-спектрометра и создают в его цепи ток, пропорциональный давлению, таким образом, датчик масс-спектрометра должен состоять из трёх основных узлов: источник ионов, анализатора и приёмника ионов. По принципу действия масс спектрометры подразделяются на следующие группы:

1. Статические масс-спектрометры, в которых разделение ионов осуществляется с помощью постоянных или медленно изменяющихся магнитного и электрических полей, причём период изменения полей много больше времени движения ионов в анализаторе.

2. Время пролётные масс-спектрометры, в которых разделение ионов в аппаратуре происходит во время их пролёта в пространстве, свободном от электрического и магнитного полей. Масс-спектрометры этого типа называют хронотронами.

3. Радиочастотные масс-спектрометры, в которых характер движения ионов, например, частота колебаний, находится в определённом соответствии с приложенным высокочастотным напряжением: а) омеготронный измеритель парциальных давлений, б) квадрупольный и монополярный масс-спектрометры.

Основные параметры газоанализатора:

1) чувствительность

2) разрешающая способность

3) диапазон анализируемых масс

4) минимальное регистрируемое давление.