Свойства тонких проводящих пленок

Цель работы: определение зависимости удельного сопротивления пленки от ее толщины, определение зависимости ТКС пленок от толщины, ознакомление с методами определения толщины пленки.

Тонкие пленки играют очень важную роль в микроэлектронике. Здесь используется диэлектрические, проводящие, магнитные, сверхпроводниковые и другие тонкие пленки, несущие различные функции. Особое значение имеют проводящие пленки.

В гибридных интегральных схемах (ГИС) на основе тонких пленок выполняются резисторы, конденсаторы малой емкости, катушки индуктивности. В полупроводниковых схемах (ПС) и в ГИС используются тонкопленочные контактные площадки и токоведущие дорожки. Основным методом получения тонких пленок является термическое испарение и ионноплазменное распыление