Пленочные индуктивности

Пленочные индуктивности получают путем напыления металлической пленки в виде плоской спирали, которая имеет круглую или квадратную форму (рис. 7.13). В современных интегральных схемах площадь спиральной катушки индуктивности составляет не более , при этом максимальное число витков, которое можно разместить на этой площади, зависит от разрешающей способности технологического процесса. При соблюдении оптимального соотношения внутреннего и внешнего диаметров спирали равного и ширине пленки 50 мкм величина индуктивности не превышает при добротности в пределах .

Рис. 7.13. Конструкция пленочной индуктивности

При необходимости в гибридных интегральных микросхемах используются миниатюрные кольцевые катушки индуктивности с ферритовыми сердечниками.