Установка Вакуумная модели ву - 2м

      Изделие предназначено для нанесения в вакууме покрытий на оптические детали методом электронно-лучевого и резистивного испарения диэлектриков, полупроводниковых материалов и металлов с одновременным фотометрическим контролем толщины покрытия. Вакуумная установка обеспечивает возможность нанесения металлических, однослойных, просветляющих, ахроматических, интерференционных, зеркальных, фильтрующих, токопро-водящих и других оптических покрытий для области спектра, ограниченной длинами волн в диапазоне 250 - 1100 м/м.

    Откачка камеры до начала проведения процесса напыления может производиться в ручном и автоматическом режимах.

       В автоматический режим, кроме получения рабочего давления, включена ионная очистка деталей и нагрев деталей до заданной температуры с вращением арматуры.

Вакуумная установка должна эксплуатироваться на вакуумных участках и в лабораториях при температуре окружающего воздуха от 17 до 28°С, относительной влажности от 40 до 75 % в атмосферном давлении 8,4×10⁴ - 10,6×10⁴ Па (630 - 800 мм рт. ст.).

       Вакуумная установка состоит из:

— откачного поста (с высоковакуумными средствами откачки);

— агрегата форвакуумного АВР-60;

— комплекса фотометрического контроля толщины СФКТ - 751В;

— стойки управления.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

       1. Давление в камере 6×10^-4 Па или 45×10^-7 мм рт. ст.;

2. Время достижения давления в камере без прогрева при рабочем режиме диффузионного насоса и при охлаждении жидким азотом криопанели и ловушек с начала откачки воздуха из камеры не более 30 мин.;

3. Количество испарителей 3 шт.: электронно-лучевых (ЭЛИ) - 2 шт., резистивных - 1 шт.;

4. Максимальная мощность ЭЛИ 6 кВт;

5. Внутренний диаметр камеры 700 мм;

6. Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре не более 10 кг;

7. Максимальная температура нагрева оптических деталей 320°С;

8. Частота вращения арматуры: 0,1 - 1 с^-1 или 6 - 60 об/мин;

9. Мощность, потребляемая вакуумной установкой не более 30 кВт;

10. Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой не более 6 м²;

11. Масса установки - 1970 кг.