Установка Вакуумная ву - 2мбс

Изделие предназначено для нанесения тонкопленочных износостойких покрытий вакуумно-плазменным способом из электропроводного тугоплавкого материала — титана (Ti), а также его соединений с газами (TiN, TiC) (нитриды, карбиды). Предусмотрена возможность нанесения покрытий из других тугоплавких электропроводящих материалов, в том числе молибдена, циркония (Zr) и их соединений (нитриды, карбиды в том числе).

Установка может эксплуатироваться в закрытых сухих помещениях при климатических условиях:

— температура окружающей среды от 17° до 27°С;

— относительной влажности от 40 до 75 %;

— атмосферном давлении от 9,6 - 10 Па (720 до 780 мм рт. ст.)

 

В состав установки входит:

— откачной пост (с высоковакуумными средствами откачки, вакуумной системой и пневмо гидроаппаратурой);

— форвакуумный агрегат;

— электрооборудование (со стойкой управления, блоком выпрямителей).

       По требованию заказчика может дополнительно комплектоваться:

— камерой пылезащитной;

— ультразвуковой ванной УЗВ—16М или УЗВ—15;

— ультразвуковым генератором УЗГ2—4М

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

       1. Предельное давление в чистой, пустой и обезгаженной камере, при охлаждении ее холодной водой 1,33×10^-3 Па или 1×10^-5 мм рт.ст.;

       2. Время достижения давления 1,33×10^-3 Па - 20 мин.;

       3. Размеры рабочей камеры: диаметр - 700 мм, высота - 776 мм;

       4. Количество дуговых испарителей 4 шт.;

       5. Скорость осаждения покрытия 16 - 35 мкм/час;

       6. Микротвердость покрытия до 2400 кг/мм²;

       7. Наибольшие размеры обрабатываемого инстумента: диаметр - 200 мм, длина - 200 мм;

       8. Производительность при упрочнении инструмента:

                   - сверл диаметром 5 мм - 1800 шт/час;

                   - сверл диаметром 10 мм - 600 шт/час;

                   - пластин размерами 12,7 х 12,7 - 1000 шт/час;

                   - дисковых фрез диаметром 60 мм - 380 шт/час.

       9. Ток дуги 65 - 250 А;

       10. Напряжение высоковольтного источника в рабочем режиме 1200 ± 200 В;

       11. Диапазон дискретного регулирования опорного напряжения низковольтного источника

                                                                                                                                           15 - 225 В;

       12. Максимальный ток подложки при нормальном режиме 15 А;

       13. Мощность установки не более 40 кВА;

       14.Площадь, занимаемая установкой 17 м²;

       15. Масса установки 2400 кг.