распределения энергии
Для удобства выпишем сшиваемые функции в точке х0.
(2.28)
(2.29)
где
Из равенства производных в точке сшивания
получаем
оттуда для больших l0, когда
(2.30)
Отсюда
(2.31)
Подставляя его в выражение φ1(х0)= φ2(х0) находим (см.2.28 и 2.29):
(2.32)
Во втором слагаемом справа в (2.32) учтена зависимость (2.30). Сокращая на 2kT и приведя подобные, получаем:
или для
(2.33)
Если нарастающая часть барьера достаточно резкая, то значение х0 в (2.31) не велико по сравнению с а. В этом случае из сравнения (2.31) и (2.33) следует и окончательно
(2.34)
(см. 2.27)
Как видно из (2.34) в максимуме, когда
(2.35)
Ширина нарастающей части барьера и, следовательно, напряженность поля здесь контролируется параметрами распределения ловушек 2l0. подставляя (2.35) в (2.34) получаем значение функции φ2 в максимуме:
(2.36)
Чем больше 2l0, тем выше барьер.
Зависимость от начальной концентрации ловушек Nt0 и их энергии активации Eс - Et определяется величиной . Из (2.36) следует, что с увеличением этих параметров высота барьера также возрастает линейно пропорционально (Eс - Et) и логарифмически пропорционально Nt0.
Общую ширину ОПЗ можно найти из (2.29) для значительных координат х, когда φ2(х) =0. В этом случае после сокращения на 2kT получаем
(2.37)
Здесь учтено, что по условиям задачи ловушки диффундируют дальше L1 и уже в максимуме координата xmax>a. Уравнение (2.32) не позволяет в явном виде получать зависимость L2(l0, A), но допускает выявить тенденции этой зависимости с помощью методов, заимствованных из теории чисел.
Представим (2.37) в виде
(2.38)
Пусть не изменяется тип ловушек (т.е. фиксируется А), но за счет технологических приемов возрастает l0. В этом случае, поскольку правая часть не изменяется, а знаменатель первого слагаемого увеличивается, значение L2 должно возрастать, хотя и не пропорционально. Если бы L2 не изменялось, левая часть (2.38) тоже уменьшалось. Это следует из
Наоборот, пусть l0 =const, а величина А увеличивается. Тогда левая часть в (2.38) должна возрастать. Поскольку логарифмическая функция y =ln L2 изменяется медленнее линейной , в целом L2 увеличивается. С ростом концентрации ловушек на поверхности Nt0 и их энергии активации Eс - Et ширина ОПЗ увеличивается.
Отметим при этом, что для такого вывода важно одновременное увеличение обоих параметров. Принципиально возможна ситуация когда более глубоких ловушек ( больше) на геометрической поверхности мало (Nt0 меньше). Поскольку величина Nt0 управляется технологически, этой конкуренции можно избежать.